An experimental analysis of localized lifetime and resistivity control by helium implant in Si / Daliento, Santolo; L., Mele; Spirito, Paolo; Gialanella, Lucio; Romano, Mario; B. N., Limata; R., Carta; L., Bellemo. - STAMPA. - (2005), pp. 22-26. (Intervento presentato al convegno ISPSD 05 tenutosi a Santa Barbara CA nel Maggio 2005).
An experimental analysis of localized lifetime and resistivity control by helium implant in Si
DALIENTO, SANTOLO;SPIRITO, PAOLO;GIALANELLA, LUCIO;ROMANO, MARIO;
2005
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