Helium implantation in silicon: detailed experimental analysis of resistivity and lifetime profiles as a function of the implantation dose and energy / Daliento, Santolo; L., Mele; Spirito, Paolo; Gialanella, Lucio; Romano, Mario; Limata, BENEDICTA NORMANNA; R., Carta; L., Bellemo. - STAMPA. - (2006), pp. 153-156. (Intervento presentato al convegno ISPSD 06 tenutosi a Napoli nel giugno 2006).
Helium implantation in silicon: detailed experimental analysis of resistivity and lifetime profiles as a function of the implantation dose and energy
DALIENTO, SANTOLO;SPIRITO, PAOLO;GIALANELLA, LUCIO;ROMANO, MARIO;LIMATA, BENEDICTA NORMANNA;
2006
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