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Electrical measurement of the lattice damage induced by a-particle implantation in silicon / L., Bellemo; R., Carta; Daliento, Santolo; L., Gialanella; B. N., Limata; L., Mele; Romano, Mario; A., Sanseverino; Spirito, Paolo. - In: VACUUM. - ISSN 0042-207X. - STAMPA. - 78 (2-4):(2005), pp. 623-626.

Electrical measurement of the lattice damage induced by a-particle implantation in silicon

DALIENTO, SANTOLO;ROMANO, MARIO;SPIRITO, PAOLO
2005
2005
VACUUM
Electrical measurement of the lattice damage induced by a-particle implantation in silicon / L., Bellemo; R., Carta; Daliento, Santolo; L., Gialanella; B. N., Limata; L., Mele; Romano, Mario; A., Sanseverino; Spirito, Paolo. - In: VACUUM. - ISSN 0042-207X. - STAMPA. - 78 (2-4):(2005), pp. 623-626.
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