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Electro-thermal analysis of MEMS microhotplates for the optimization of temperature uniformity / L., M., T., R., Riccio, M., E., I., F., S., Irace, A., Breglio, G., J. F., C., P. M., S.. - In: PROCEDIA ENGINEERING. - ISSN 1877-7058. - 25:(2011), pp. 387-390. [10.1016/j.proeng.2011.12.096]

Electro-thermal analysis of MEMS microhotplates for the optimization of temperature uniformity

RICCIO, MICHELE;IRACE, ANDREA;BREGLIO, GIOVANNI;
2011
2011
Electro-thermal analysis of MEMS microhotplates for the optimization of temperature uniformity / L., M., T., R., Riccio, M., E., I., F., S., Irace, A., Breglio, G., J. F., C., P. M., S.. - In: PROCEDIA ENGINEERING. - ISSN 1877-7058. - 25:(2011), pp. 387-390. [10.1016/j.proeng.2011.12.096]
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