Amorphous silicon waveguides and light modulators for integrated photonics realised by low-temperature plasma enhanced chemical vapour deposition / G., Cocorullo; DELLA CORTE, F. G.; I., Rendina; C., Minarini; A., Rubino; E., Terzini. - In: OPTICS LETTERS. - ISSN 0146-9592. - 21:(1996), pp. 2002-2004. [10.1364/OL.21.002002]
Amorphous silicon waveguides and light modulators for integrated photonics realised by low-temperature plasma enhanced chemical vapour deposition
F. G. DELLA CORTE;
1996
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