New method to calibrate the pattern dependency of selective epitaxy of SiGe layers / Kolahdouz, M.; Maresca, Luca; Ostling, M.; Riley, D.; Wise, R.; Radamson, H. H.. - In: SOLID-STATE ELECTRONICS. - ISSN 0038-1101. - (2009).
New method to calibrate the pattern dependency of selective epitaxy of SiGe layers
Maresca Luca;
2009
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