Kinetic model of SiGe selective epitaxial growth using RPCVD technique / Kolahdouz, M.; Maresca, Luca; Ghandi, R.; Khatibi, A.; Radamson, H. H.. - In: JOURNAL OF THE ELECTROCHEMICAL SOCIETY. - ISSN 0013-4651. - (2011).

Kinetic model of SiGe selective epitaxial growth using RPCVD technique

Maresca Luca;
2011

2011
Kinetic model of SiGe selective epitaxial growth using RPCVD technique / Kolahdouz, M.; Maresca, Luca; Ghandi, R.; Khatibi, A.; Radamson, H. H.. - In: JOURNAL OF THE ELECTROCHEMICAL SOCIETY. - ISSN 0013-4651. - (2011).
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