Nanopatterning process based on epitaxial masking for the fabrication of electronic and spintronic devices made of La0.67Sr0.33MnO3/LaAlO3/SrTiO3 heterostructures with in situ interfaces / Telesio, F., Pellegrino, L., Pallecchi, I., Marré, D., Esposito, E., DI GENNARO, E., Khare, A., Miletto Granozio, F.. - In: JOURNAL OF VACUUM SCIENCE AND TECHNOLOGY. B, NANOTECHNOLOGY & MICROELECTRONICS. - ISSN 2166-2746. - 34:1(2016), p. 011208. [http://dx.doi.org/10.1116/1.4938484]
Nanopatterning process based on epitaxial masking for the fabrication of electronic and spintronic devices made of La0.67Sr0.33MnO3/LaAlO3/SrTiO3 heterostructures with in situ interfaces
DI GENNARO, EMILIANO;
2016
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