Nanostructured silicon carbon thin films grown by PECVD technique / Coscia, U., Ambrosone, G., D. K., B., V., R., S., F., A., V.. - In: THIN SOLID FILMS. - ISSN 0040-6090. - 543:(2013), pp. 27-31. [10.1016/j.tsf.2013.03.073]
Nanostructured silicon carbon thin films grown by PECVD technique
COSCIA, UBALDO;AMBROSONE, GIUSEPPINA;
2013
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