Study of gap states and photoelectrical propierties of a-SiC:H films deposited by PECVD in SiH4+CH4 gas mixtures / Coscia, Ubaldo; Catalanotti, Sergio; Ambrosone, Giuseppina; Demichelis, F.; F., Giorgis; C. F., Pirri; E., Tresso; P., Rava. - In: VUOTO. - ISSN 0391-3155. - STAMPA. - 25:2(1996), pp. 38-40.
Study of gap states and photoelectrical propierties of a-SiC:H films deposited by PECVD in SiH4+CH4 gas mixtures
COSCIA, UBALDO;CATALANOTTI, SERGIO;AMBROSONE, GIUSEPPINA;
1996
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