Influence of r.f. power on optical, electrical and structural properties of a-SiC:H alloys grown in SiH4+ CH4 and SiH4 + C2H2 gas mixtures / Ambrosone, G., Catalanotti, S., Coscia, U., S., M., A., C., Breglio, G.. - STAMPA. - (1998), pp. 770-773. (2nd World Conference on PVSEC Vienna 6-10 July 1998).

Influence of r.f. power on optical, electrical and structural properties of a-SiC:H alloys grown in SiH4+ CH4 and SiH4 + C2H2 gas mixtures

AMBROSONE, GIUSEPPINA;CATALANOTTI, SERGIO;COSCIA, UBALDO;BREGLIO, GIOVANNI
1998

1998
9282851796
Influence of r.f. power on optical, electrical and structural properties of a-SiC:H alloys grown in SiH4+ CH4 and SiH4 + C2H2 gas mixtures / Ambrosone, G., Catalanotti, S., Coscia, U., S., M., A., C., Breglio, G.. - STAMPA. - (1998), pp. 770-773. (2nd World Conference on PVSEC Vienna 6-10 July 1998).
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