Deposition of microcrystalline silicon-carbon films by PECVD / Ambrosone, Giuseppina; Coscia, Ubaldo; Lettieri, Stefano; Maddalena, Pasqualino; C., Minarini; S., Ferrero; A., Patelli; V., Rigato. - In: THIN SOLID FILMS. - ISSN 0040-6090. - STAMPA. - 451-452:(2004), pp. 274-279. [10.1016/j.tsf.2003.11.023]
Deposition of microcrystalline silicon-carbon films by PECVD
AMBROSONE, GIUSEPPINA;COSCIA, UBALDO;LETTIERI, STEFANO;MADDALENA, PASQUALINO;
2004
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