Influence of rf power on the properties of nanostructured silicon-carbon films deposited by PECVD / Coscia, U., Ambrosone, G., D. K., B., P., R., S., F., A., V., M., T.. - In: PHYSICA STATUS SOLIDI. C. - ISSN 1610-1642. - 8:(2011), pp. 823-826. [10.1002/pssc.201000299]

Influence of rf power on the properties of nanostructured silicon-carbon films deposited by PECVD

COSCIA, UBALDO;AMBROSONE, GIUSEPPINA;
2011

2011
Influence of rf power on the properties of nanostructured silicon-carbon films deposited by PECVD / Coscia, U., Ambrosone, G., D. K., B., P., R., S., F., A., V., M., T.. - In: PHYSICA STATUS SOLIDI. C. - ISSN 1610-1642. - 8:(2011), pp. 823-826. [10.1002/pssc.201000299]
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