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Characterizations of nanostructured silicon-carbon films deposited on p-layer by PECVD / Coscia, U., Ambrosone, G., D. K., B., S., F., P., D.V., L. V., M., I., U., M., T.. - In: PHYSICA STATUS SOLIDI. C. - ISSN 1610-1642. - ELETTRONICO. - 7:(2010), pp. 766-769. [10.1002/pssc.200982675]

Characterizations of nanostructured silicon-carbon films deposited on p-layer by PECVD

COSCIA, UBALDO;AMBROSONE, GIUSEPPINA;
2010
2010
Characterizations of nanostructured silicon-carbon films deposited on p-layer by PECVD / Coscia, U., Ambrosone, G., D. K., B., S., F., P., D.V., L. V., M., I., U., M., T.. - In: PHYSICA STATUS SOLIDI. C. - ISSN 1610-1642. - ELETTRONICO. - 7:(2010), pp. 766-769. [10.1002/pssc.200982675]
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