Study on the excimer laser annealed amorphous hydrogenated silicon carbon films deposited by PECVD / Ambrosone, Giuseppina; D. K., Basa; Coscia, Ubaldo; E., Tresso; A., Chiodoni; E., Celasco; N., Pinto; R., Murri. - In: PHYSICA STATUS SOLIDI. C. - ISSN 1610-1642. - ELETTRONICO. - 7:3-4(2010), pp. 770-773. [10.1002/pssc.200982680]
Study on the excimer laser annealed amorphous hydrogenated silicon carbon films deposited by PECVD
AMBROSONE, GIUSEPPINA;COSCIA, UBALDO;
2010
File in questo prodotto:
Non ci sono file associati a questo prodotto.
I documenti in IRIS sono protetti da copyright e tutti i diritti sono riservati, salvo diversa indicazione.
