Study on the excimer laser annealed amorphous hydrogenated silicon carbon films deposited by PECVD / Ambrosone, G., D. K., B., Coscia, U., E., T., A., C., E., C., N., P., R., M.. - In: PHYSICA STATUS SOLIDI. C. - ISSN 1610-1642. - ELETTRONICO. - 7:3-4(2010), pp. 770-773. [10.1002/pssc.200982680]
Study on the excimer laser annealed amorphous hydrogenated silicon carbon films deposited by PECVD
AMBROSONE, GIUSEPPINA;COSCIA, UBALDO;
2010
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