Defect Characterization Of a-SiC:H And a-SiN:H Alloys Produced By Ultra High Vacuum Plasma Enhanced Chemical Vapour Deposition In Different Plasma Conditions / T., Stapinski; Coscia, Ubaldo; Ambrosone, Giuseppina; F., Giorgis; C. F., Pirri. - In: PHYSICA. B, CONDENSED MATTER. - ISSN 0921-4526. - STAMPA. - 254:(1998), pp. 99-106. [10.1016/S0921-4526(98)00408-6]

Defect Characterization Of a-SiC:H And a-SiN:H Alloys Produced By Ultra High Vacuum Plasma Enhanced Chemical Vapour Deposition In Different Plasma Conditions

COSCIA, UBALDO;AMBROSONE, GIUSEPPINA;
1998

1998
Defect Characterization Of a-SiC:H And a-SiN:H Alloys Produced By Ultra High Vacuum Plasma Enhanced Chemical Vapour Deposition In Different Plasma Conditions / T., Stapinski; Coscia, Ubaldo; Ambrosone, Giuseppina; F., Giorgis; C. F., Pirri. - In: PHYSICA. B, CONDENSED MATTER. - ISSN 0921-4526. - STAMPA. - 254:(1998), pp. 99-106. [10.1016/S0921-4526(98)00408-6]
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