Defect Characterization Of a-SiC:H And a-SiN:H Alloys Produced By Ultra High Vacuum Plasma Enhanced Chemical Vapour Deposition In Different Plasma Conditions / T., Stapinski; Coscia, Ubaldo; Ambrosone, Giuseppina; F., Giorgis; C. F., Pirri. - In: PHYSICA. B, CONDENSED MATTER. - ISSN 0921-4526. - STAMPA. - 254:(1998), pp. 99-106. [10.1016/S0921-4526(98)00408-6]
Defect Characterization Of a-SiC:H And a-SiN:H Alloys Produced By Ultra High Vacuum Plasma Enhanced Chemical Vapour Deposition In Different Plasma Conditions
COSCIA, UBALDO;AMBROSONE, GIUSEPPINA;
1998
File in questo prodotto:
Non ci sono file associati a questo prodotto.
I documenti in IRIS sono protetti da copyright e tutti i diritti sono riservati, salvo diversa indicazione.