Defect Characterization Of a-SiC:H And a-SiN:H Alloys Produced By Ultra High Vacuum Plasma Enhanced Chemical Vapour Deposition In Different Plasma Conditions / T., S., Coscia, U., Ambrosone, G., F., G., C. F., P.. - In: PHYSICA. B, CONDENSED MATTER. - ISSN 0921-4526. - STAMPA. - 254:(1998), pp. 99-106. [10.1016/S0921-4526(98)00408-6]
Defect Characterization Of a-SiC:H And a-SiN:H Alloys Produced By Ultra High Vacuum Plasma Enhanced Chemical Vapour Deposition In Different Plasma Conditions
COSCIA, UBALDO;AMBROSONE, GIUSEPPINA;
1998
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