Deposition of microcrystalline silicon-carbon alloys in low power regime / Ambrosone, Giuseppina; Barucca, G.; Coscia, Ubaldo; Ferrero, S.; Lettieri, S.; Maddalena, Pasqualino. - In: JOURNAL OF NON-CRYSTALLINE SOLIDS. - ISSN 0022-3093. - STAMPA. - 338-340:(2004), pp. 163-167. [10.1016/j.jnoncrysol.2004.02.045]

Deposition of microcrystalline silicon-carbon alloys in low power regime

AMBROSONE, GIUSEPPINA;COSCIA, UBALDO;S. Lettieri;MADDALENA, PASQUALINO
2004

2004
Deposition of microcrystalline silicon-carbon alloys in low power regime / Ambrosone, Giuseppina; Barucca, G.; Coscia, Ubaldo; Ferrero, S.; Lettieri, S.; Maddalena, Pasqualino. - In: JOURNAL OF NON-CRYSTALLINE SOLIDS. - ISSN 0022-3093. - STAMPA. - 338-340:(2004), pp. 163-167. [10.1016/j.jnoncrysol.2004.02.045]
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