Laser annealing of hydrogenated amorphous silicon-carbon films / Coscia, U., Ambrosone, G., C., M., V., P., S., S., A., T., S., R., V., R.. - In: THIN SOLID FILMS. - ISSN 0040-6090. - STAMPA. - 453-454:(2004), pp. 7-12. [10.1016/j.tsf.2003.11.070]
Laser annealing of hydrogenated amorphous silicon-carbon films
COSCIA, UBALDO;AMBROSONE, GIUSEPPINA;
2004
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