Deposition Of Silicon-Carbon Films At Different Substrate Temperatures By PECVD / Coscia, Ubaldo; Ambrosone, Giuseppina; Maddalena, Pasqualino; A., Setaro; S., Santucci; M., Passacantando; M., Tucci. - STAMPA. - (2006), pp. 1775-1778. (Intervento presentato al convegno 21st European Photovoltaic Solar Energy Conference and Exhibition tenutosi a Dresden nel 4-8 September 2006).
Deposition Of Silicon-Carbon Films At Different Substrate Temperatures By PECVD
COSCIA, UBALDO;AMBROSONE, GIUSEPPINA;MADDALENA, PASQUALINO;
2006
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