Power Density Effects on The Growth Of Microcrystalline Silicon – Carbon Alloys By PECVD / Coscia, U., Ambrosone, G., Lettieri, S., Maddalena, P., P., R., C., M.. - In: THIN SOLID FILMS. - ISSN 0040-6090. - STAMPA. - 427:(2003), pp. 284-288. [10.1016/S0040-6090(02)01145-8]
Power Density Effects on The Growth Of Microcrystalline Silicon – Carbon Alloys By PECVD
COSCIA, UBALDO;AMBROSONE, GIUSEPPINA;LETTIERI, STEFANO;MADDALENA, PASQUALINO;
2003
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