Properties of a-SiC:H Films Deposited In High Power Regime / Ambrosone, Giuseppina; V., Ballarini; Coscia, Ubaldo; S., Ferrero; F., Giorgis; Maddalena, Pasqualino; A., Patelli; P., Rava; V., Rigato. - In: THIN SOLID FILMS. - ISSN 0040-6090. - STAMPA. - 427:(2003), pp. 279-283. [10.1016/S0040-6090(02)01144-6]
Properties of a-SiC:H Films Deposited In High Power Regime
AMBROSONE, GIUSEPPINA;COSCIA, UBALDO;MADDALENA, PASQUALINO;
2003
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