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Properties of a-SiC:H Films Deposited In High Power Regime / Ambrosone, G., V., B., Coscia, U., S., F., F., G., Maddalena, P., A., P., P., R., V., R.. - In: THIN SOLID FILMS. - ISSN 0040-6090. - STAMPA. - 427:(2003), pp. 279-283. [10.1016/S0040-6090(02)01144-6]

Properties of a-SiC:H Films Deposited In High Power Regime

AMBROSONE, GIUSEPPINA;COSCIA, UBALDO;MADDALENA, PASQUALINO;
2003
2003
Properties of a-SiC:H Films Deposited In High Power Regime / Ambrosone, G., V., B., Coscia, U., S., F., F., G., Maddalena, P., A., P., P., R., V., R.. - In: THIN SOLID FILMS. - ISSN 0040-6090. - STAMPA. - 427:(2003), pp. 279-283. [10.1016/S0040-6090(02)01144-6]
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