CF4/O2 dry etching of textured crystalline silicon surface in a-Si:H/c-Si heterojunction for photovoltaic applications / M., T., DE ROSA, R., F., R.. - In: SOLAR ENERGY MATERIALS AND SOLAR CELLS. - ISSN 0927-0248. - STAMPA. - 69:(2001), pp. 175-185. [10.1016/S0927-0248(00)00409-8]
CF4/O2 dry etching of textured crystalline silicon surface in a-Si:H/c-Si heterojunction for photovoltaic applications
DE ROSA, ROSARIO;
2001
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