MICROCRYSTALLINE SILICON THIN FILMS GROWN AT HIGH DEPOSITION RATE BY PECVD / Ambrosone, Giuseppina; Coscia, Ubaldo; Lettieri, S.; Maddalena, Pasqualino; Ambrico, M.; Perna, G.; Minarini, C.. - In: THIN SOLID FILMS. - ISSN 0040-6090. - STAMPA. - 511-512:(2006), pp. 280-284. [10.1016/j.tsf.2005.12.110]
MICROCRYSTALLINE SILICON THIN FILMS GROWN AT HIGH DEPOSITION RATE BY PECVD
AMBROSONE, GIUSEPPINA;COSCIA, UBALDO;S. LETTIERI;MADDALENA, PASQUALINO;
2006
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