All electrical resistivity profiling technique for ion implanted semiconductor materials / Daliento, Santolo; Mele, Luigi; Spirito, Paolo; Limata, BENEDICTA NORMANNA. - In: MATERIALS SCIENCE AND ENGINEERING B-SOLID STATE MATERIALS FOR ADVANCED TECHNOLOGY. - ISSN 0921-5107. - STAMPA. - 124-125:5(2005), pp. 310-313. [10.1016/j.mseb.2005.08.025]

All electrical resistivity profiling technique for ion implanted semiconductor materials

DALIENTO, SANTOLO;MELE, LUIGI;SPIRITO, PAOLO;LIMATA, BENEDICTA NORMANNA
2005

2005
All electrical resistivity profiling technique for ion implanted semiconductor materials / Daliento, Santolo; Mele, Luigi; Spirito, Paolo; Limata, BENEDICTA NORMANNA. - In: MATERIALS SCIENCE AND ENGINEERING B-SOLID STATE MATERIALS FOR ADVANCED TECHNOLOGY. - ISSN 0921-5107. - STAMPA. - 124-125:5(2005), pp. 310-313. [10.1016/j.mseb.2005.08.025]
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