Microcrystalline silicon-carbon films deposited by silane-methane mixture highly diluted in hydrogen / Coscia, Ubaldo; Ambrosone, Giuseppina; Lettieri, S; Maddalena, Pasqualino; Ferrero, S.. - In: THIN SOLID FILMS. - ISSN 0040-6090. - STAMPA. - 511-512:(2006), pp. 399-403. [10.1016/j.tsf.2005.12.084]
Microcrystalline silicon-carbon films deposited by silane-methane mixture highly diluted in hydrogen
COSCIA, UBALDO;AMBROSONE, GIUSEPPINA;LETTIERI S;MADDALENA, PASQUALINO;
2006
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